利用非晶质材料的集束离子束超精密模具的加工方法

技术概要
本发明是利用集束离子束加T超精密模具的加工方法。其目的是，离子束的加工技术，并行利用现有的超精密加工技术和集柬提高超精密模具的精密性、生产性和强度，还可抑制制作超精密模具的费用增加的、利用集束离子束的超精密模具加工方法。
该发明是经过公知的超精密加工工程，在小形象加工的材料表面蒸着非晶质材料或非品质合金材料之后，利用集束离子束最终显像加工表面蒸着的非品质薄膜，制作超精密模具的技术。

公司(机关)简介
韩国生产技术研究院以支援中小企业的生产技术开发为目的，成立于1989年。其开发技术的实用化成功中小企业的支援件数、规模，国际共同研究比率等，可称得上韩国内政府所属的研究机关当中的第一，是引导生产技术革新的实用中心的、韩国内唯一的中小企业专门研究机关。
技术产品
- 机械及汽车配件：工作机械用超精密位置感应器，超精密镜头及超精密射出模具，压力感应器，加速感应器，角速感应器，微小工作机械配件，微小组立装备配件，actuator配件，微小喷嘴配件等.
- 半导体配件：半导体用口罩，半导体装备用超精密配件，CCD摄像感应器等
- 显示器配件：TFT-LCD，于机等后镜头相关模具，Front panel等
- IT配件：手机摄像镜头模具，光通信产品整形用模具，超小HDD配件，HDD磁头配件，喷墨印表机磁头针，光开关，光过滤器，wave quide等
- 生物配件：DNA chip，Protein chip，Cell chip，lab-on-chip，光学生物感应器,电基版感应器，细胞及组织基版感应器，微生物感应器等
期待效果与事业可行性
比较现有的机械加工／半导体的蚀刻加工／激光加工 ／电化学加工，集束离子束加工可加工到数百nm以下，并且表面粗度优秀。
利用非晶质材料，并行现有的超精密加工技术和利用集束离子束的加工技术，可提高超精密模具的生产性和精度及热性和电性。
提供抑制制作超精密模具的费用增加的加工方法。
继而，微小模具可应用到机械及汽车配件、半导体配件、显示器配件、IT配件、生物配件上，估计相关配件的开发事业的可行性很高。